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產品系列

SACVD設備

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產品介紹

SA-300T , SA-200T
12英寸 , 8英寸SACVD設備 

產品介紹

SA-300T系列是我公司自主研發的次常壓化學氣相沉積(SACVD)設備,擁有自主知識產權。SACVD反應腔搭載在已通過量產驗證的高產能PECVD平臺上,充分實現設備對產能的需求。該設備主要應用在STI、PMD/ILD等,滿足Gap-fill的需求。


 
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